隨著工業(yè)化生產(chǎn)環(huán)境對潔凈度的要求不斷提高,激光塵埃粒子計數(shù)器技術(shù)得到了快速蓬勃的發(fā)展。從軍工領(lǐng)域邁進民用,從技術(shù)滲透進社會各個層面,以激光塵埃粒子計數(shù)器為代表的潔凈技術(shù)正在逐步提高人類社會的生產(chǎn)能力、改善人類的居住環(huán)境。在半導(dǎo)體制造業(yè)中,社會對電子元件尺寸要求愈加苛刻,生產(chǎn)加工環(huán)境的潔凈度將直接影響產(chǎn)品的合格率,據(jù)統(tǒng)計約超過80%因為電學(xué)特性失效的電子芯片是由于生產(chǎn)環(huán)境中塵埃粒子的污染造成以半導(dǎo)體材料硅片為例,空氣的塵埃粒子能引起芯片電路元件開路或者短路。而在醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域,藥品生產(chǎn)過程需要盡可能避免塵埃粒子、微生物等顆粒的污染。
塵埃粒子計數(shù)器是一種在潔凈領(lǐng)域應(yīng)用廣泛的重要儀器,主要用于評定潔凈室潔凈度等級,還可用來檢測過濾器的過濾效率、潔凈織物的發(fā)塵量。使用的行業(yè)包含電子廠、藥廠、醫(yī)療器械廠以及檢測實驗室等等。是利用光的散射原理對空氣中的塵埃粒子數(shù)目和粒徑進行計量,工作原理:來自光源的光線被透視鏡組聚焦于檢測區(qū)域,塵埃粒子計數(shù)器通過采樣泵使采樣空氣通過該區(qū)域。當(dāng)一個塵埃粒子(簡稱粒子)通過時,便把入射光散射一次,產(chǎn)生一個光脈沖信號,經(jīng)過放大、甄別,篩選出需要的信號,再通過計數(shù)系統(tǒng)顯示出來,電脈沖信號的高度反映粒子的大小,信號的數(shù)量反映了粒子的個數(shù)。主要關(guān)注的技術(shù)指標(biāo)就是粒子的大小和個數(shù)。
塵埃粒子計數(shù)器是應(yīng)用Mie氏散射原理測量流體中單分散塵埃粒子的散射光強度以判斷粒子粒徑的精密計數(shù)儀器。以規(guī)定的流量從待測樣品中進行采樣,采樣氣流的粒子在通過激光均勻照明的光敏感區(qū)域時,塵埃粒子產(chǎn)生散射光,散射光收集系統(tǒng)把一定范圍內(nèi)的散射光光通量收集起來并由光電傳感器轉(zhuǎn)換為脈沖電壓信號。
脈沖信號的幅度和粒子粒徑的大小成正比,可采用電壓幅度甄別器來甄別脈沖信號電壓的幅值,再送出數(shù)據(jù)進行處理。由于微米量級的粒子散射光強度很弱,需將信號前置放大為幅值足夠的電脈沖信號,再進行信號非線性放大處理。然后根據(jù)電脈沖幅值的大小甄別以送入不同粒徑檔通道計數(shù),在顯示器顯示一個計數(shù)周期內(nèi)各個計數(shù)檔的粒子數(shù)目。